地上製品とは違って宇宙用の電子機器は真空状態に晒されます。また、太陽光が当たる面は温度が急上昇し、反対に日陰になる面では急激に温度が下がります。そこで、熱真空試験では、液体窒素と真空ポンプを用いて宇宙空間に近い低温・高真空状態を作り出します。その装置を熱真空チャンバといいます。
チャンバの中に宇宙用電子機器を入れ、電子機器の温度が規定温度範囲内に維持できることを確認するとともに、熱真空環境下で所定の性能を満たすことを確認します。